ZMI-4004 基于氦氖激光技術(shù)，提供雙頻穩(wěn)定輸出，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)分辨率的測(cè)量，適用于高精度定位和運(yùn)動(dòng)控制應(yīng)用。設(shè)備采用高品質(zhì)電子元件和制造工藝，確保在惡劣環(huán)境下也能保持穩(wěn)定運(yùn)行。

　　技術(shù)參數(shù)：

　　最小光功率：1.9μW

　　位置分辨率：0.31 nm

　　最大速度：±2.1 m/s

　　速度精度(σ)：0.5 nm

　　外殼類型：6U VME。

特點(diǎn)：

　　支持模塊化設(shè)計(jì)，可擴(kuò)展至64個(gè)測(cè)量軸，適合復(fù)雜的多軸測(cè)量系統(tǒng)。

　　可與其他ZYGO激光干涉儀系統(tǒng)(如ZMI系列干涉儀)兼容，形成完整的測(cè)量解決方案。

　　配備高性能信號(hào)處理功能，能夠快速提供準(zhǔn)確的測(cè)量反饋。

　　提供循環(huán)減小誤差選項(xiàng)，自動(dòng)消除非線性誤差，提高測(cè)量精度。

部分型號(hào)參考：

ZYGO ZMI-4004 應(yīng)用干涉測(cè)量系統(tǒng)激光控制板卡

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