Brooks Automation 001-4130-03 是一款高精度的晶圓對準控制器，主要用于半導體制造過程中的晶圓對準操作。該產品通過高精度的定位和校準技術來確保晶圓的位置及方向準確，從而為后續(xù)工藝提供基礎。

產品規(guī)格：

高精度測量與控制：采用先進的測量技術和高精度傳感器，能夠實現±0.1微米的高精度對準。

高可靠性設計：具有冗余設計和故障自診斷功能，即使在單個組件發(fā)生故障的情況下也能正常工作。

精確控制算法：采用先進的定位算法和伺服機制，實現高速度和高可靠性的晶圓對準。

用戶定義標簽編程：支持基于描述性I/O命名的用戶定義標簽編程，簡化了操作流程。

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